潔凈廠房中，工藝管道通常包含高純氣體管道系統，這些高純氣體管道屬于潔凈技術控制范疇，有三個重要參數指標：氣體純度、干燥度、潔凈度（即三度控制）。
氣體純度--指氣體中雜質氣氛的含量，通常用氣體純度的百分數表示，如99.9999%（俗稱6個9），也可用雜質氣氛含量的體積比ppm、ppb表示。潔凈廠房高純氣體管道系統建成的各個環節，必須做到上流的合格氣體，流經廠房管道系統到達用氣點的氣體純度仍能滿足工藝對用氣純度的要求。
干燥度--氣體中微量水分的含量，通常以露點表示，如露點-70℃，或以含濕量ppm表示，如含濕量2.584ppm。（兩者的轉換見附錄1）
潔凈度-- 指氣體中含有污染物粒子的數量，粒徑為μm的粒子的個數，pc/m3。高純氣體管道通常使用在潔凈的生產環境當中，對應的潔凈環境等級，在《潔凈廠房設計規范GB50073-2001》中，直接采用國際標準ISO14644-1（詳見附錄2）
對高純氣體潔凈度的控制，當設計未加特別注明時，施工中對潔凈度的控制應與使用空間的潔凈度等級保持一致，嚴防氣體中的污染物粒子超過規定值，而造成管路系統或潔凈生產空間的污染。潔凈廠房高純氣體管道的設計、施工管理，不同于一般工業氣體管道，任何一個環節稍有失控，就可能影響輸送氣體的質量，從而導至無法生產出合格的產品。
因此，高純氣體管道系統施工有嚴格的技術規范，總則要求介紹如下：
1.氣體管道的干管，應敷設在上下技術夾層或技術夾道內，當與水、電管線共架時應設在其上部。
2.當采用碳素鋼支吊架、碳素鋼管卡時必須是鍍鋅件，且不銹鋼管道與其接觸處應采用不產塵的非金屬材料隔離。
3. 高純氣體管道的設計應符合下列要求：
a. 按氣體流量、壓力或生產工藝需要確定管徑，氣體管道最小管徑不小于φ6×1mm；
b. 管道系統應盡量短；
c. 不應出現不易吹除的盲管、死角；
d. 管道系統應設必要的吹除口和測試取樣口。
4. 氣體管道穿過潔凈室墻壁或樓板處的管段不應有焊縫。管道與墻壁或樓板之間應采取可靠的密封措施，并用裝飾板封堵。
5. 可燃氣體和氧氣管道的末端或最高點應設放散管。放散管引至室外應高出屋脊1米，并應有防雨、防雜物侵入的措施。可燃氣體和氧氣管道還應符合《潔凈廠房設計規范》8.4安全技術措施的有關要求。
6. 高純氣體終端過濾器應設在靠近用氣點處。
