在潔凈廠房設計規范GB50073-2001中，給潔凈室三種狀態做了以下定義，分別為空態、靜態和動態。那么凈化工程師在進行潔凈廠房潔凈等級設計時，就要明確設計目標最終是在潔凈室什么狀態下達到潔凈等級，才能選型相關通風凈化設備及凈化材料，以確保符合用戶的生產使用需求環境。下面，旗興工程師分別對3種狀態的定義做介紹，已經在不同狀態下進行潔凈室檢測具體要求。

空態 as-built潔凈室測試---設施已經建成，所有動力接通并運行，但無生產設備、材料及人員。

靜態 at-rest--設施已經建成，生產設備已經安裝，并按業主及工藝商同意的狀態下運行，但無生產人員。

動態 operational--設施已規定的狀態運行，有規定的人員在場，并在商定的狀態下進行工作。

在ISO14644中規定將潔凈室檢測階段劃分如下：

空態潔凈室的檢測——Installation qualificafion(IQ)

靜態潔凈室的檢測——Operational qualificafion(OQ)

動態潔凈室的檢測——Performance qualificafion(PQ)

 

空態潔凈室的檢測(IQ)

檢查空態潔凈室和安裝的設備是否符合設計，至少要檢查下列各點：

1、潔凈室設備的成套性；

2、一切能源載體和工藝介質的供應（水、電、蒸汽、壓縮空氣、氣體等）是否符合設計；

3、公用和輔助設備功能運轉是否正確；

4、所以控制系統，監控器，報警和警報器等的檢定（檢查）日期；

5、安裝質量；

6、安裝過濾器（最終過濾器）的完整性；

7、電源和設備是否有備份，其中包括空氣處理設備的風量余量；

8、壓差；

9、氣流特性（單向氣流——流速，均勻性和氣流方向）；

10、維護結構的密閉性；

11、檢查循環空氣與室外空氣的比例是否符合設計；

12、表面潔凈度；

13、包裝中是否有備件。

檢查HEPA（ULPA）過濾器的完整性具有重要意義，此項檢查對ISO6級、ISO5級及更高級別的潔凈室來說尤其必要。應檢查表面潔凈度及維護結構的密閉性（對ISO1級~ISO5級的潔凈室特別重要）。

 

靜態潔凈室的檢測(OQ)

本階段的檢測至少應完成下列各項工作：

1、確認潔凈區劃分原則是否符合要求；

2、確定潔凈室在經過污染水平升高后的自凈時間參數；

3、確定保持溫度和相對濕度的穩定性；

4、按粒子數確定潔凈度級別；

5、確定壓差；

6、在必要的場所應按粒子和微生物污染水平確定表面的潔凈度；

7、確定照度；

8、確定噪聲級；

9、利用必要的工具目視檢查氣流并檢查換氣次數（必要時）；

10、將取得數據結果寫成書面文件。

動態潔凈室的檢測(PQ)

為了評估動態潔凈室工作的穩定性：

1、驗證潔凈室分割制度；

2、評估將溫度和相對濕度保持在規定范圍內的能力；

3、按粒子數檢查潔凈度級別并確定空氣中的微生物濃度（必要時）；

4、驗證壓差；

5、按粒子數和微生物數量確定表面潔凈度（必要時）；

6、檢查潔凈室運行文件的成套性，其中包括參數的檢查方法，潔凈室工作事故及采取的措施等，是否有基本的規程，如潔凈室清掃、更衣、人員衛生等方面的規程等；

7、檢查人員是否經過培訓，是否有培訓體系和相應的文件；

必要時還要檢查振動強弱，空氣電離程度，電磁場強度。可根據潔凈室的特點改變測試的具體內容。

在使用過程中，應對潔凈室的參數進行日常監控，監控要有一定的周期性，潔凈室用戶可根據規范文件的要求確定這種周期性

檢測可在潔凈室工作過程中進行（重復檢測）；

發生下列各項后需進行重復檢測：

1、潔凈室達不到給定參數的原因已消除；

2、與使用條件例如潔凈室的使用有較大差異（如改變工藝流程等）；

3、空氣長時間停止流通（進風）而影響潔凈室工作；

4、做了影響潔凈室工作的個別維護或修理工作，如更換HEPA過濾器以后。