一般來說，消毒劑對于人體是有不利影響的，比如臭氧，達到一定濃度，會麻痹神經，致幻。所以，在潔凈室使用臭氧消毒時，需要對臨近的區域實施同步的監控與管理，對于臭氧消毒操作來說，需要EHS人員的同步參與。

     一個完整的潔凈室臭氧消毒過程，大致應該是這樣的：

1：儀器準備：溫濕度計和臭氧濃度測試儀。消毒過程中需要監測每臺空調回風主管的濕度和臭氧濃度。

2：設備準備：打開冷卻水的進、出口閥門，臭氧發生器的壓縮空氣閥打開且壓力值正常要求范圍內，插入開關鑰匙，點擊啟動按鈕后“啟動”指示燈點亮，此時，臭氧發生器沒有報警輸出。

3：清場確認：設備啟動前在消毒區域外沿使用警示帶圍閉，粘貼警示標識，并對對消毒區域進行人員清場。

4：封閉消毒區域出口（傳送帶，物料門等）。開啟供臭氧主管的保護罩，打開臭氧供氣主管閥門。確認每臺空調送風管上臭氧供氣管手閥處于打開狀態，并確認系統正常。

5：封閉所有人流物流，對臭氧消毒區域進行再次清場確認。開啟臭氧機開始發送臭氧至各個空調的送風管，關閉新風閥門。臭氧濃度檢測儀反饋數值達到設置值時，開始計時，維持臭氧濃度在要求范圍內，維持經驗證的時間，并每隔指定時間對濕度計和臭氧濃度測試儀進行讀數并記錄回風濕度和臭氧濃度，進行消毒過程記錄。

6：完成消毒后，打開排風閥，停止臭氧機，打開新風閥門，關閉回風閥，進入稀釋階段，稀釋指定的驗證時間。稀釋階段結束后，操作人員帶防毒面罩（防臭氧專用），攜手持式濃度測試儀對每個房間進行濃度確認，若所有房間內臭氧濃度均低于要求水平時，確認整個消毒過程結束，房間可以放行用于其它用途，若有房間內臭氧濃度高于要求水平則操作人員退出，重新進行稀釋流程。