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某些制造業的潔凈車間除了空氣潔凈度外，還有嚴格的溫度、濕度要求，如果溫濕度控度不好，潔凈車間環境可能會產生負面影響，從而使產品的品質下降，比如滋生細菌，金屬腐蝕、出現靜電荷、水汽冷凝等現象都會對生產流程有不良影響、甚至危害。
在潔凈車間設計中，對室內濕度的控制是需要較高技術含量的。潔凈車間內的相對濕度，可以通過局部濕度來控制，如果室內濕度較高的話，可通過恒溫恒濕控制系統降低冷凍盤管流出空氣的溫度來加強除濕。與此同時，通過再熱盤管提供熱量來保持室內溫度。如果需要精準控制濕度，可以通過精密空調的新風絕熱增濕效果來實現。
潔凈車間內的相對濕度，也可以通過超聲波濕度調節設備來控制，需要把超聲波濕度調節元件安裝在終過濾前的風管靜壓箱內。此外，還要注意用水水質與水電陰率，前者為RO/DI，后者為3-5mgm。
關于相對濕度的設計控制范圍。如果低于控制范圍，恒溫恒濕設備會啟動濕度調節功能，以便增加新風含水量。如果高于控制范圍，恒溫恒濕設備會降低新風控制冷凍盤管流出空氣的露點溫度，以便增強除濕效果。
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